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工业空气过滤器在半导体企业的应用

发布:过滤器 浏览:1521次  时间:2021-10-30 09:38:47

  工业空气过滤器在半导体企业的应用

  半导体厂对生产环境洁净程度非常挑剔,对空气过滤器的要求也越来越苛刻,而在半导体厂,半导体厂用空气过滤器起着非常重要的作用,是不可缺少的,下面由hg皇冠中国股份有限公司官网为大家讲解工业空气过滤器在半导体企业的应用:

工业空气过滤器

  空气中海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。

  活性炭过滤器过滤等级技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的原理和制造工艺并不复杂,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车,芯片厂的深圳活性炭过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。

  化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些,能有这种功能的就是普通、便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定反渗透过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的有经验的人,并与名气大的化学实验室有密切的关系。

  半导体工业并不是人们普遍认为的“无烟工业”,也就是说它也是有环境问题的,稍不小心就会造成严重的化学污染。因此,为了保险起见,半导体厂一般都会使用空气过滤器。

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